| 是否进口否 | 加工定制否 |
| 品牌TM | 型号TME1600 |
鑫凯泰科技（北京）有限公司天津办事处
基本参数
x向量程：100mm
x轴检测方法：高精度光栅传感器/分辨率：0.2μm
x轴测量速度：0.1,0.2,0.5,1mm/s，自定义
x轴直线度：1.2μm/100mm
z向量程：320mm
轮廓部分精度：
z1向量程：±2mm，±5mm
x轴精度：±（3+0.02l）μm
z1轴精度：±0.3%f.s.
z1轴量程与分辨率比例： 65536:1（16位）
z1轴传感器类型：差动变压器，2段式
驱动方式及速度： x轴 z轴 均为电动 4档,可自定义速度
粗糙度部分精度：
传感器量程范围：840μm/200μm
z1轴传感器分辨率：13nm（840μm量程时）/ 3nm（200μm量程时）
测量重复性：±4%
线性精度： ±7%
截止波长：0.025,0.08,0.25,0.8,2.5,8mm
评定长度：λc x 3,4,5,6,7
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