不同的因素可以影响超声/兆声波过程中空化能量的强度，例如液体的表面张力或从基板到换能器的距离。
然而，最关键的因素是声波的频率。
在典型的超声波清洗过程中，传感器的工作频率在25 khz和100 khz之间。这种较低的频率会产生直径达
150µm的较大气泡，并在破裂时产生较高的空化能量。兆声波处理利用频率从400千赫到5兆赫。这些更高
的频率产生更小的气泡，当它们破裂时，产生的空化能量也相应减少。超声清洗过程中产生的高空化能会
破坏基体的敏感结构。由兆声波产生的更温和的清洁能源能够去除纳米范围内的颗粒，而不会损坏敏感设
备。
关键词：传感器